等離子凈化中的能量傳遞大致如下:電子從電場中獲得能量，能量通過碰撞轉化為分子的內能和動能。同時，一些分子被電離，這些被激活的粒子相互碰撞，產生一系列復雜的物理化學反應。
等離子凈化是什么意思等離子體中有大量的活性粒子，如離子、電子、受激原子和分子、自由基等。為等離子體技術通過化學反應處理惡臭物質提供了條件。它是一門以放電物理、放電化學和反應工程為基礎的交叉學科。
近幾十年來，等離子體技術的研究非?；钴S，為合成新物質、新材料和控制環境污染提供了新技術、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用高能電子、自由基等這些活性粒子在極短的時間內分解污染物，然后進行各種后續反應，達到降解污染物的目的。
目前市場上從事低溫等離子體VOCs凈化的企業很多，專業水平參差不齊。部分企業不具備低溫等離子設備的設計能力，缺乏工藝設計、項目實施和服務保障能力；部分用戶還存在操作不規范、運維不到位等問題，在工程應用中存在一定的安全隱患。
揮發性有機化合物(VOCs)是一類有機化合物的總稱，指室溫下飽和蒸氣壓超過70.91Pa或沸點低于260℃的有機化合物。大氣中的VOCs主要包括苯系物、有機氯化物、freons、有機醛類、有機酮類等。
低溫等離子體處理VOCs是一種使低溫等離子體中的高能電子與VOCs分子發生一系列化學反應，從而將VOCs轉化或降解為無害物質的方法。揮發性有機化合物的低溫等離子體處理主要包括電子束輻照、介質阻擋放電、蠕動放電和電暈放電。
電子束輻照法是通過電子加速器(電子槍)產生高速高能電子束，通過電離、激發等一系列自由基反應去除有機物。電子束放電能有效降解VOCs，其處理效率與污染物的初始濃度、有機物的分子組成和結構、水蒸氣含量和濕度有關。
低溫等離子體凈化設備在使用中的安全風險主要包括以下幾個方面:
(1)廢氣本身或處理系統中積累的有機物濃度高，達到凈化物質(或混合物)的爆炸極限值，電極放電時設備爆炸。
(2)廢氣預處理不到位，廢氣中的油霧或漆霧等顆粒進入低溫等離子體凈化設備，沉積在電極或墻壁上，積累到一定程度后會導致設備著火。
(3)部分化合物在低溫等離子體環境下發生聚合，結焦沉積在電極或反應器壁上，積累到一定程度會導致設備著火。
