1.介質阻擋放電產生的電子能量高，低溫離子密度高，可以達到常用等離子體技術(電暈放電)的1500倍，幾乎可以斷裂有機廢氣的所有分子鏈。
2.工藝反應速度快，通過反應區的氣體流量達到3-15m/s，也能達到良好的處理效果。
3.自動化程度高，設備啟停非?？?，使用時可以打開。對于一些不連續產生廢氣的收集點，可以循環啟動和停止，以節省成本。
4.在等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能過程中的能量傳遞大致如下:
(1)電場+電子→高能電子。
(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、自由基團)活性基團。
(3)活性基團+分子(原子)→產物+熱量。
(4)活性基團+活性基團→產物+熱量。
低溫等離子體凈化設備的特點；
凈化效率高，性能穩定。
設備風阻≤300Pa，無需增加排風設備，投資低。
維護簡單，成本低，功耗低。
安全可靠，設備采用開式排放方式，無密閉高壓高溫區。
使用壽命長，安裝簡單，操作過程完全自動化。
處理風量超過3000m3/h-80000m3/h..
凈化機制包括三個方面:
1.在產生等離子體的過程中，高頻放電產生的瞬間高能足以開啟某些有害氣體分子的化學能，將其分解成簡單的原子或無害分子；
第二，等離子體的能量可以將長鏈VOCs裂解成短鏈分子，促進其與催化劑反應，從而阻止短鏈VOCs分子與它們重新聚合形成難熔大分子；
第三，等離子體含有大量高能電子、正負離子、激發態粒子和強氧化性自由基。這些高活性物種被吸附在催化劑的活性中心，并催化和氧化揮發性有機化合物為CO2和水。
