處理過程可分為三個階段：
1、用特殊成型的活性炭來充分吸附廢氣中有機成分的分子，當吸附到一定的飽和度時即停止吸附;
2、第二階段開始時是用附加的加熱器加熱一股氣流，利用熱氣流去加熱吸附飽和的活性炭，將被吸附的有機成分激活氣化而從活性炭中脫附逸出?；謴突钚缘幕钚蕴考纯梢灾匦挛接袡C成分的氣體分子;
3、對脫被附出來的有機成分的氣體進行加熱，使其達到催化燃燒所需要的溫度進入催化燃燒床，這里說燃燒，實質是在催化劑的作用下進行快速激烈的氧化，將有機成分的炭氫分子氧化成CO2和H2O，再通過脫附風機，將其送入吸附床，直到脫附出來的有機成分的分子均被氧化為止，脫附過程即將進行完成。
一、廢氣處理設備運行條件
根據廢氣的性質(粘度、溫度、濕度、壓力、可燃性、毒性、穩定性和氣體種類等)設計安全可靠的廢氣處理裝置；
二、廢氣處理達標效率
根據排放標準及污染源排放的廢氣濃度，選擇高效的設備類型，如果一臺設備不能滿足要求則需要多臺設備進行多級處理；
三、經濟性
主要考慮設備的制造、安裝、運行和維護費用以及廢氣達標處理問題，不得造成二次污染；
四、占地面積及空間的大小
根據工程現場狀況，合理布置廢氣處理工藝流程和設計設備類型；
有機溶劑回收：
利用有機溶劑露點溫度較高的特點，將蒸汽和有機溶劑的混合物引入冷凝器，使其冷凝，冷凝液經疏水閥進入分離器，利用溶劑比水輕的特點，分離回收。
凝水凈化：
為冷凝水的潔凈，避免有機溶劑的凝水排入水體，在分離器內分離后的水中通入壓縮空氣，使水中有機溶液劑充分解脫。被壓縮空氣逐出的含有機物空氣折返廢氣系統，重新吸附。凈化后的冷凝水，排入下水道。
燃燒法
適用于燃煤電廠含汞煙氣的處理。采用循環流化床燃煤鍋爐，燃燒過程中投加石灰石，煙氣采用電除塵或袋除塵凈化。
